In der 3D- Überlagerungs -Darstellung können verschiedene Scanergebnisse einer Kammera -Inspektion über die Original Daten gestellt werden, so das eine genau Übersicht
Die sogenannten Formfaktoren ergeben sich aus den Messdaten einer Inspektion und beschreiben in welche Klasse eine Fehlersituation einsortiert wird.
Die Gerber -Dateien haben verschiedene Informationsdichten, über eine virtuelle Skalier -Linse können die Datendichte unterschiede herangezogen werden um eine Die bezogene Zusammengehörigkeit zu gewärleisten
Der WaferView basiert auf die 3D Darstellung von Gerber -Dateien die von einem Substrat/Wafer -Hersteller zur Positionsbestimmung von Pads und Kontakt Informationen verwendet wird. Die in einer Gerber -Datei abgelegten Informationen erfolgen im ASCII Format, somit ist sichergestellt das auch sehr alte Daten in der Zukunft lesbar bleiben.
WaferView 3D Darstellung überlagerter Gerber -DateienGerber Dateien können Millionen von Datenpunkten enthalten, zusätzlich zu den X Y Pärchen werden oft Zusatz Informationen wie Durchmesser oder Fehlerklasse in die Z Ordinate übertragen die dann z.b. als D gekennzeichnet in der Datei vorkommt. Es bedarf sehr schnelle Parser die diese Informationen in Vektorlisten übertragen, damit die OpenGL -Engine in der Lage ist alle Informationen über die Grafikhardware abzubilden.
Einen 3D -Wafer in seiner Datengröße zu beschreiben erfordert eine Virtualisierung die moderne Grafikkarten mit dem Industriestandard OpenGL gewährleisten. WaferView ermöglicht nicht nur eine 2Dimensionale Draufsicht die stufenlos Skalierbar/Zoombar ist , sondern auch eine 3D -Begehung der Oberfläche wie in einem 3D- Computerspiel mit der W,S,A,D -Steuerung.
Die so dargestellten Überlagerungen können in einer von oben dargestellten Draufsicht so abgebildet werden, das der Wafer in grafischen Segmenten zerlegt dargestellt wird indem die Segment Farbe der der meisten Fehler Klassen dieser Sektion entspricht. Dies kann dann auch als Umlaufzertifikat ausgedruckt werden um die Gesamt Qualität des Wafers zu beschreiben.
Der Ausdruck der Fehlerklassen kann über sämtlich installierte Drucker, oder in virtuellen PDF oder XPF sowie Plot Files ausgegeben werden.
Die Merkmale einer Wafer Oberfläche können in Echtzeit oder über eine Gantry -Scanvorrichtung erfasst werden, die dann erkannten Daten werden im Gerber -Dateiformat herausgeschrieben, somit ist eine Gegenüberstellung von Hersteller Daten und Inspektionsdaten direkt möglich, und kann im WaferView frei Zoombar und "begehbar" in seinen Fehlerklassen Dargestellt werden.
